近日，由中國計量科學研究院（以下簡稱“中國計量院”）申報新建的區(qū)域法表面與亞表面結構幾何參數(shù)基準裝置，已獲市場監(jiān)管總局批準。
該裝置在國際上率先實現(xiàn)從二維“輪廓線”到三維“空間體”的維度提升，填補三維表面形貌計量的國內空白與亞表面結構計量能力國際空白。實現(xiàn)表界面結構空間立體成像，一次測量即可同時獲得表界面微觀形貌和結構信息。
同時，該基準裝置在三維形貌表征、微納量值溯源、核心功能器件與一體化系統(tǒng)集成等關鍵技術上全面實現(xiàn)國產(chǎn)化，為微納計量領域提供具有自主知識產(chǎn)權的中國方案。
應用于集成電路晶圓表面結構缺陷檢測
該基準裝置實現(xiàn)表界面微觀幾何形貌結構計量能力從“盲人摸象”輪廓法躍升至“三維全景”區(qū)域法的技術跨越，進而將傳統(tǒng)表面粗糙度參數(shù)迭代更新至區(qū)域法三維表面形貌參數(shù)。此外，開創(chuàng)亞表面結構計量體系，將測量維度從表面形貌拓展至表面下130μm范圍內的亞表面區(qū)域微觀幾何結構，不確定度達到U=4.8nm-1.17×10-2SSIMdx，使我國在表界面計量領域完成從跟跑到領跑的歷史性跨越。
應用于超精密光學元件亞表面缺陷檢測
超精密制造、原子級制造已成為當前和未來一段時間制造強國建設的重要發(fā)展方向。表界面結構幾何參數(shù)的準確評定直接關乎絕大多數(shù)制造業(yè)產(chǎn)品的質量安全、疲勞失效等全壽命周期問題。因此，國家表界面結構計量基準與計量體系的能力水平，成為我國由制造業(yè)大國向制造業(yè)強國邁進的決定性因素之一。該基準裝置的建立，將為集成電路、高端智能裝備、航空航天、遙感探測等精密制造業(yè)的高質量發(fā)展提供堅實的計量基礎，助力我國制造業(yè)實現(xiàn)更高水平的發(fā)展。
